Symbol

CAS#

64916-48-9

MDL

M.F.

Pd(C5HF6O2)2

M.W.

520.52

Catalog No.

BC-1141

Appearance

黃色至深橙色粉末

Assay

Pd20.44%

Physical Characteristics

M.p.

B.p.

F.p.

Vapor pressure

Density

Solubility

Package

100g/瓶

Applications

用于氧化還原金屬置換反應，以優化銅的化學氣相沉積合金化工藝。還用于同時進行銅的蝕刻和鈀的沉積，從而應用于超大規模集成設備

Remark